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https://hdl.handle.net/20.500.14094/90004575
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90004575 (fulltext)
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メタデータ
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メタデータID
90004575
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
タイトル
Soft X-ray irradiation effect on the fluorinated DLC film
著者
Takamatsu, Hiroki ; Niibe, Masahito ; Zhou, XiaoLong ; Komatsu, Keiji ; Saitoh, Hidetoshi ; Akasaka, Hiroki ; Saiga, Akihiro ; Tamada, Koji ; Tagawa, Masahito ; Yokota, Kumiko ; Furuyama, Yuichi ; Kanda, Kazuhiro
著者名
Takamatsu, Hiroki
著者名
Niibe, Masahito
著者名
Zhou, XiaoLong
著者名
Komatsu, Keiji
著者名
Saitoh, Hidetoshi
著者名
Akasaka, Hiroki
著者名
Saiga, Akihiro
著者名
Tamada, Koji
著者ID
A0481
研究者ID
1000010216806
KUID
https://kuid-rm-web.ofc.kobe-u.ac.jp/search/detail?systemId=eaff16497cc0ca56520e17560c007669
著者名
Tagawa, Masahito
田川, 雅人
タガワ, マサヒト
所属機関名
工学研究科
著者ID
A0910
研究者ID
1000020252794
KUID
https://kuid-rm-web.ofc.kobe-u.ac.jp/search/detail?systemId=aa07a0032e8f999a520e17560c007669
著者名
Yokota, Kumiko
横田, 久美子
ヨコタ, クミコ
所属機関名
工学研究科
著者ID
A1578
研究者ID
1000000209199
KUID
https://kuid-rm-web.ofc.kobe-u.ac.jp/search/detail?systemId=e40dc3710d16e040520e17560c007669
著者名
Furuyama, Yuichi
古山, 雄一
フルヤマ, ユウイチ
所属機関名
海事科学研究科
著者名
Kanda, Kazuhiro
収録物名
Diamond and Related Materials
巻(号)
79
ページ
14-20
出版者
Elsevier
刊行日
2017-10
公開日
2018-02-02
抄録
The irradiation effect on fluorinated diamond-like carbon (F-DLC) film was investigated by measuring the dose dependence of various film properties using synchrotron radiation (SR) in the soft X-rays in the SR dose region from 0 to 2000 mA h. Film flatness was maintained but various film properties and surface properties were found to be changed by the SR irradiation. Wettability of the F-DLC film surface increased dramatically within 20 mA h SR exposure, which was ascribed to the decrease in fluorine on the film surface. Film thickness, film density, composition ratio of fluorine atom in film decreased and sp(2)/(sp(2) + sp(3)) ratio of carbon atoms increased within 300 mA h SR exposure, which were ascribed to the desorption of species containing fluorine atoms. In addition, dominant desorbed species emitted from F-DLC film were found in the fluorocarbon group, CFx. Changes in film properties and film thickness did not proceed, when fluorine content in the F-DLC film decreased to about 10% after the 300 mA h SR exposure.
カテゴリ
海事科学研究科
工学研究科
学術雑誌論文
権利
© 2017 The Authors. Published by Elsevier B.V.
This is an open access article under the CC BY-NC-ND license (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/).
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資源タイプ
journal article
言語
English (英語)
ISSN
0925-9635
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eISSN
1879-0062
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DOI
https://doi.org/10.1016/j.diamond.2017.08.004
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