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https://hdl.handle.net/20.500.14094/90006459
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2024-03-28
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90006459 (fulltext)
pdf
1.00 MB
3
メタデータ
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メタデータID
90006459
アクセス権
open access
出版タイプ
Accepted Manuscript
タイトル
High hardness and low dielectric constant thin films with oriented urea oligomers by physical vapor deposition
著者
Morimoto, Masahiro ; Fukutomi, Tatsuya ; Koshiba, Yasuko ; Ishida, Kenji
著者ID
A1167
研究者ID
1000090717290
著者名
Morimoto, Masahiro
森本, 勝大
モリモト, マサヒロ
所属機関名
先端融合研究環
著者名
Fukutomi, Tatsuya
著者ID
A0909
研究者ID
1000070243326
KUID
https://kuid-rm-web.ofc.kobe-u.ac.jp/profile/ja.9340b064f2224352520e17560c007669.html
著者名
Koshiba, Yasuko
小柴, 康子
コシバ, ヤスコ
所属機関名
工学研究科
著者ID
A0412
研究者ID
1000020303860
KUID
https://kuid-rm-web.ofc.kobe-u.ac.jp/profile/ja.536e26f454125d9a520e17560c007669.html
著者名
Ishida, Kenji
石田, 謙司
イシダ, ケンジ
所属機関名
工学研究科
収録物名
Journal of Materials Science
巻(号)
54(3)
ページ
2483-2492
出版者
Springer
刊行日
2019-02
公開日
2020-03-01
注記
This is a post-peer-review, pre-copyedit version of an article published in Journal of Materials Science. The final authenticated version is available online at: https://doi.org/10.1007/s10853-018-3000-2
抄録
Oligomers of undecylurea (OUA11) thin films with a high crystallinity, surface hardness, perpendicular orientation, and low dielectric constant were fabricated by physical vapor deposition. The thin films were composed of single OUA11, which has a relatively high molecular weight (Mw: 2500, Mn: 1200) and could be vapor-deposited without thermal decomposition. These films had a much higher crystallinity and a high surface hardness level of 9H in the pencil hardness test. The dielectric constant of the OUA11 films is estimated to be 2.1–2.3 in the frequency range of 1 Hz–0.1 MHz, which is lower than that of typical low dielectric constant (low-k) materials. These physical and electrical properties are caused by the unique structure with the molecular dipoles-oriented parallel to the electrodes on the substrate and the strong intermolecular hydrogen bonds. The unique structure could not be observed with spin-coating and is specific to the vapor-deposited films. We expect that the OUA11 films with a high hardness and a low dielectric constant can be used not only as protective coatings but also as electronic materials.
カテゴリ
工学研究科
先端融合研究環
学術雑誌論文
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資源タイプ
journal article
言語
English (英語)
ISSN
0022-2461
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eISSN
1573-4803
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NCID
AA00701725
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DOI
https://doi.org/10.1007/s10853-018-3000-2
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